兼有光电测距、电子测角和测量数据记录的大地测量仪器称为“全站仪”(TotalStation)，亦称为电子速测仪(ElectronicTachymeter、ElectronicTacheometer)或电子视距仪(Electronicstadiainstrument)。第一代全站仪问世于20世纪70年代，以前西德OPTON厂的RegEltal4和前瑞典AGA厂的Geodimeter 700为典型代表。最初的仪器体积大、重量重、能耗高，在野外作业中使用不够机动灵活。但它们的出现，展示了一种高效的三维坐标测量方法，是大地测量仪器史上具有划时代意义的革命。之后，随着微电子技术的发展，特别是微处理器应用到全站仪上，使其能够对仪器的系统误差进行修正；对其测量过程进行操作和监控；对大量测量数据进行存贮和管理；与计算机实现双向通信；在一些内存容量大的仪器上，甚至将各种测量程序装载到仪器中，使其能够完成特殊的测量和放样工作。今天的全站仪是现代化测量和信息化测量工作最有力的助手