20世纪80年代，随着微电子技术、半导体集成电路工艺的日益完善，人们开始把IC制造技术引用于精密机械制造，出现了微机械、微型传感器、微型执行器等微机械制造技术。微机械电容式加速度计是人们广为关注、竞相开发的一种微型加速度计。其中，加速度计的类型有压阻式、压电式和电容式等多种。其中，电容式加速度计具有测量精度高、温度效应等优点