《微机电系统》是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上,结合微机电系统领域最新的研究成果编著而成的。全书共分为六章,分别介绍了mems发展历程,mems理论基础,mems基本工艺技术,mems设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,《微机电系统》结合大量工艺实例,易于学生理解,有助于提高其动手能力;对各种典型微机电器件的介绍,大部分来源于实验室的课题研究实例,内容充实新颖。
《微机电系统》可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用,还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。