本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空法兰(以下简称法兰)和铜密封垫的型式、尺寸及技术要求。
本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm-250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密封垫。