本规范适用于新建，改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求，同时应为施工安装，调试检测，安全运行，维护管理提供必要条件。