矿山法隧道施工是一种常见的地下工程施工方法，适用于岩石等硬质岩层的地层中。其施工步骤包括以下几个方面：
- 施工准备
在施工前，需要进行详细的施工现场调查和地质勘查工作，了解施工现场的地质、水文、气象等条件，并制定合理的施工方案。同时，还需要进行施工组织设计，确定施工顺序和施工工艺，配置相应的施工设备和人员。
- 开挖先行
在隧道范围的岩层中钻眼、爆破，将全断面一次或分部开挖成设计尺寸的毛洞。开挖时，需要根据施工现场的地质条件，选择合适的开挖方法和设备，如挖掘机、凿岩机等。同时，还需要进行开挖过程中的监控测量和地质勘查工作，以确保施工安全和施工质量。
- 衬砌修筑
在相隔一定安全距离后，衬砌修筑陆续跟上。衬砌是隧道施工中的重要步骤，目的是为了加强隧道的稳定性和承受更大的压力。需要根据隧道的尺寸和设计要求，选用合适的衬砌材料和施工工艺，进行衬砌模板的安装、混凝土的搅拌和浇筑等工作。同时，在衬砌过程中还需要进行监控测量和地质勘查工作，以确保衬砌质量和隧道安全。
- 临时支撑
在岩石不够坚硬完整的地层中开挖时，一般需先挖导坑，设置临时支撑，以防止土石坍塌。临时支撑是隧道施工中的重要措施之一，目的是为了加强隧道的稳定性和承受更大的压力。需要根据施工现场的地质条件和设计要求，选用合适的临时支撑材料和施工工艺，进行临时支撑的安装和拆卸等工作。同时，在临时支撑过程中还需要进行监控测量和地质勘查工作，以确保支撑质量和隧道安全。
- 监控测量
在施工过程中，需要进行详细的监控测量工作，以确保施工安全和施工质量。监控测量包括施工现场的地质勘查、隧道的变形和应力监测、衬砌的变形和应力监测、临时支撑的变形和应力监测等。
