说明:
1、为了尽快的将室内产生的灰尘排走，净化空调系统中会考虑回风系统。
2、本方案中回风量为送风量的70%，另有30%用来维持洁净室的正压、补充门窗的泄漏以及工作人员所需空气（按照洁净室设计标准，每人需40CMH。)
3、气流组织为上送下侧回，回风以经回风柱、回风墙、回风管送回机房循环使用。
4、回风口采用带过滤网、调节阀的单层百叶回风口。回风口的安装在离地面约30cm处，回风口要低于工作台面。